废气成分简介

       硅料制备阶段

• 多晶硅还原法产生含氯化氢（HCl浓度8%）、氯气（Cl₂）及四氯化硅（SiCl₄）的酸性废气，单条产线排放量可达3000m³/h。
• 硅烷法工艺释放的硅烷（SiH₄）具有自燃性，需采用封闭燃烧塔在850℃下分解为二氧化硅粉末，燃烧效率达99.97%。

       电池片加工环节

• 制绒工序产生氢氟酸（HF）和氮氧化物（NOx），刻蚀段排放含HF（浓度200-500mg/m³）、CO₂及SiO₂的复合废气。
• PECVD工序释放未反应的硅烷（SiH₄）、氨气（NH₃）及氢气（H₂），其中SiH₄爆炸下限（LEL）低至1.5vol%。

       组件封装工序

• 焊接环节释放含铅焊剂挥发物，EVA胶膜热压成型时产生甲醛（HCHO）和丙酮（沸点56℃）等VOCs。
• 层压机排气含二甲基甲酰胺（DMF）等有机溶剂，初始浓度可达800-1500mg/m³。

常见处理工艺

       预处理单元

• 金属丝网过滤器拦截≥10μm颗粒物
• 急冷塔降温至40℃以下（防止SiH₄自燃）

       主体处理单元

• 酸性废气：三级碱喷淋（液气比3L/m³）→湿式电除尘（WESP）
• 有机废气：沸石转轮浓缩（脱附温度200℃）→蓄热式焚烧（RTO）

       末端保障单元

• 活性炭吸附塔（碘值≥1000mg/g）确保VOCs排放＜20mg/m³
• 在线质谱仪（检测限0.1ppm）实时监控SiH₄浓度

行业风机技术要求

       光伏产业中主要使用以耐酸碱耐有机的玻璃钢风机，形式以C式居多，通常以中等风量，中低压型号为主。